FPD及びPV製造装置
当社は様々なFPD（フラットパネルディスプレイ）及びPV（太陽光発電を表す「PhotoVoltaic」の略）製造技術に関わり、製造装置・材料の開発に携わっています。
人々の生活に欠かせない液晶テレビ・スマートフォン・タブレット・パソコンなど…。
これらの製品を製造するために必要な成膜プロセス装置の開発・製造等を担っています。
当社で扱っている液晶ディスプレイ製造用のスパッタリング装置においては、世界で最も高いシェアを誇り、数多くの企業様に導入いただいています。
【FPD製造装置】
・液晶ディスプレイ製造装置
・有機EL製造装置
・巻取（蒸着、スパッタリング）装置
【PV製造装置】
・結晶系太陽電池製造装置
・化合物系太陽電池製造装置
半導体及び電子部品製造装置
半導体・電子デバイスの技術開発、量産を手掛けています。
また、それらの製造装置・真空応用技術のソリューションの開発・提供も行っています。
フラッシュメモリをはじめ、3D-IC、通信デバイス、センサー、オプトデバイスなど、多種多様な製品の開発・生産等に利用可能です。
IoT、ビッグデータ、人工知能、自動運転/EV化などにまつわる技術革新を、機械の製造・開発で支えています。
【半導体及び電子部品製造装置】
・半導体（メモリー、ロジック、パワー半導体）製造装置
・電子部品（MEMS、通信デバイス など）製造装置
・電子実装装置（WL-CSP、FoPLP など）
・高輝度LED製造装置
コンポーネント
真空をつくる「真空ポンプ」、真空（圧力）を測定する「真空計」、真空中のガス種を測定する「プロセスガスモニタ」、漏れの箇所の特定や漏れ量を調べる「ヘリウムリークディテクタ」など、真空技術に関する様々なコンポーネントの開発・提供を行っています。
真空技術は、スマートフォン・LED照明・エコカーといった生活に密接した製品が完成する過程にも使われており、人々の生活に必要不可欠なものです。
当社は様々なコンポーネントの開発を通し、豊かな生活と技術の進歩に貢献し続けています。
【コンポーネント】
・真空ポンプ
・真空計
・ヘリウムリークディテクタ
・プロセスガスモニタ
・分光エリプソメータ
・EB・RF・DC電源
・真空バルブ
・成膜コントローラー
・真空ロボット
一般産業用装置
設立当初から長く培ったノウハウで、一般産業向けの真空装置の様々なソリューションを提供しています。活躍の場は幅広く、自動車・医薬品・食品などの産業・分野にて、小型超高性能モータ用希土類磁石の生産装置をはじめ、医薬品・健康食品用の凍結真空乾燥装置などが用いられています。
また、真空溶解炉・真空焼結炉・真空熱処理炉は、特に自動車事業で利用されており、電気自動車に欠かせない駆動モータ用の希土類磁石や、小型・高温・実用性に優れた積層セラミックコンデンサなどの電気・電子部品の製造で活躍しています。
【一般産業用装置】
・真空熱処理炉
・真空ろう付炉
・真空溶解炉
・希土類磁石生産装置
・凍結真空乾燥装置
・高真空蒸留装置
・漏れ試験装置
材料
様々な電子材料・高機能材料の提供を行っています。半導体・FPD・LEDなどに向けて各種スパッタリングターゲット材料の供給で、最先端デバイスで使用される薄膜材料分野に貢献しています。
また、お客様のニーズに合わせ、電子部品・化学工業・医療産業等で使用される高融点活性金属材料の開発、高融点活性金属部品の溶解・加工・製造を手掛けています。
【材料】
・スパッタリングターゲット材料
・高融点活性金属材料及び部品製作
・ナノメタルインク
分析装置・制御装置・マスクブランクス 他
当社が手掛けている様々な事業・技術のノウハウを活かして、各技術の提供を行っています。研究機関向けに表面分析や物性測定装置などを提供しており、自動車業界にて制御システムが産業機械駆動装置に活かされているほか、コンピュータやエレクトロニクス製品の「半導体集積回路」の製造に欠かせない「マスクブランクス」の製造にも活用されています。
【分析装置・制御装置・マスクブランクス 他】
・表面分析装置
・制御装置
・マスクブランクス 他
